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氩等离子体特点

999youran

2015/02/09

易电离
电离所需要能量相对较低
较低的热导率
降低热导散热造成的能量损失
相对经济
大气中含量约1%左右
形成等离子体所需高频功率相对较低

分
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依风1986

第1楼2015/02/09

应助达人

这个是选择氩气的原则，相对而言氦气就贵了

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999youran

第2楼2015/02/10

嗯，理论上氦气，氮气也是可以的
依风1986(xurunjiao5339) 发表:这个是选择氩气的原则，相对而言氦气就贵了

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千层峰

第3楼2015/02/10

不选氮气，会否是因为空气中氮气含量太高？？
999youran(999youran) 发表: 嗯，理论上氦气，氮气也是可以的

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999youran

第4楼2015/02/10

1，氮气毕竟不是真正的惰性气体，只是因为氮氮三键的键能特别大不容易断开进行反应才用的。而氩气毕竟是单分子的惰性气体。所以氩气的保护作用更好。你想想，如果反应是在高温下，氮气会活泼一些的，而氩气不会
2，氮气可以在常温就跟一些物质起化学反应，这个时候用氮气就不行。用氩气却可以。比如活泼金属
3，氩的相对原子质量比氮气分子大很多，可以更好的排出空气
千层峰(jxyan) 发表: 不选氮气，会否是因为空气中氮气含量太高？？

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分
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光哥

第5楼2015/02/10

应助工程师

。。。。。。。。。。。。
这个，建议看看课本，历史上有氮气作为ICP气体的，现在也有A家的机器以空气作为ICP工作气体的
999youran(999youran) 发表:1，氮气毕竟不是真正的惰性气体，只是因为氮氮三键的键能特别大不容易断开进行反应才用的。而氩气毕竟是单分子的惰性气体。所以氩气的保护作用更好。你想想，如果反应是在高温下，氮气会活泼一些的，而氩气不会
2，氮气可以在常温就跟一些物质起化学反应，这个时候用氮气就不行。用氩气却可以。比如活泼金属
3，氩的相对原子质量比氮气分子大很多，可以更好的排出空气

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999youran

第6楼2015/02/10

科技在进步
光哥(xsh1234567) 发表:。。。。。。。。。。。。
这个，建议看看课本，历史上有氮气作为ICP气体的，现在也有A家的机器以空气作为ICP工作气体的

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依风1986

第7楼2015/02/10

应助达人

氮气难激发吧！
999youran(999youran) 发表: 嗯，理论上氦气，氮气也是可以的

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999youran

第8楼2015/02/11

依风1986(xurunjiao5339) 发表: 氮气难激发吧！
我认为是200nm以下测试有难度用氮气

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依风1986

第9楼2015/02/12

应助达人

999youran(999youran) 发表:

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999youran

第10楼2015/02/13

依风1986(xurunjiao5339) 发表: 这个也是一种原因

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