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哪位大神给我看看这种形貌是不是电子束造成的损伤

gkd_0000

2015/03/24

扫描电镜（SEM/EDS）

用蔡司的 Merlin compact拍的 , 样品是镀锌板上面刷镀的一层耐指纹涂层（树脂），约1-3个um厚，导电性较差，没有喷金。同样的样品在FEI的quanta 250上却怎么也找到这种多孔结构，做电镜的老师认为这种形貌不是样品的典型结构。所以我想问这种多孔结构难道是电子束打出来的？如果是打出来的是不是应该排列比较规则啊？

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gkd_0000

第1楼2015/03/24

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plasmodesmal

第2楼2015/03/24

1.这个形貌在merlin compact上普遍吗？
2.quanta 250电压多少？

0

仙后婧婧（谭思婧）

第3楼2015/03/24

电子束怎么也不会打成这个样子吧

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小M

第4楼2015/03/24

应助达人

看着不像电子束打出来的，如果样品本身是多孔的，并且是树脂这种不耐电子束击打的材料，电子束会使孔径变大

0

gkd_0000

第5楼2015/03/26

plasmodesmal(plasmodesmal) 发表:1.这个形貌在merlin compact上普遍吗？
2.quanta 250电压多少？
1 不好说，当时没有多照几张，只有在Merlin compact 的inlens探头下才能照出这种效果，在SE2下照不出来.
2 quanta 250用的电压是5kV, WD=6.4mm.

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gkd_0000

第6楼2015/03/26

在SU5000也做了下， SU5000有点儿奇怪，背散射像照出来的效果和Merlin compact的SE2 照出来的效果差不多，直径约为10nm的小颗粒也能分辨出来，不过SU5000的SE2就不行了，荷电很严重没法拍。是不是我这个样品有点儿怪啊
小M(mitchell_dyzy) 发表:看着不像电子束打出来的，如果样品本身是多孔的，并且是树脂这种不耐电子束击打的材料，电子束会使孔径变大

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小M

第7楼2015/03/26

应助达人

树脂的导电性应该不好，荷电是正常的，所以我有点怀疑你上的图也是BSE图像……
gkd_0000(gkd_0000) 发表: 在SU5000也做了下， SU5000有点儿奇怪，背散射像照出来的效果和Merlin compact的SE2 照出来的效果差不多，直径约为10nm的小颗粒也能分辨出来，不过SU5000的SE2就不行了，荷电很严重没法拍。是不是我这个样品有点儿怪啊

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gkd_0000

第8楼2015/03/27

小M(mitchell_dyzy) 发表: 树脂的导电性应该不好，荷电是正常的，所以我有点怀疑你上的图也是BSE图像……
这张图是用的inlens 探头，是二次电子探头，可能是我的样品成分衬度比较大，基体是树脂，那些小颗粒是无机盐，inlens探头也会收集到部分背散射信号吧

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fengyonghe

第9楼2015/03/27

你在发原始贴时应该介绍清楚

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gao007007

第10楼2015/03/31

如果样品导电性不好，Zeiss Merlin的Inlens探头不喷金应该荷电没法拍，用InlensDuo背散射模式是可以的

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