其他仪器综合讨论
stdp99
第1楼2006/10/01
不知你是何意,是不是指对真空腔充入气体(N2,O2)?如果是的话,可以直接通过进气阀.或者是说对生长的材料加入气体性元素,我是使用射频氧等离子体而引入氧元素的,这里我是通过漏阀充入O2的.
silva
第2楼2006/10/02
你们做多大的片子，氧气的喷嘴离衬底有多远啊？你们的MBE是哪产的？
第3楼2006/10/02
在衬底上可以生长10mm*10mm的样品,氧源出口离样品50cm左右,我所使用的MBE是德国OMICRO公司的.
lilele
第5楼2006/11/14
你们ormicon的系统大约多少钱啊
第6楼2006/11/19
除了MBE外还配了AFM,STM,UPS,AES等,总共1100万,估计MBE 300-400万
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