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求高手分析,SEM,FE-SEM和FIB之间的区别?

  • hanliuhanliu911
    2015/04/26
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 求高手分析,SEM,FE-SEM和FIB之间的区别?
    有没有从分辨率、应用范围等方面比对信息。
    目前有一台SEM,现在要评估FE-SEM和FIB,无从下手啊!
    谢谢!
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  • 仙后婧婧(谭思婧)

    第1楼2015/04/27

    FIB主要是切割工具吧

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  • 姑苏一梦

    第2楼2015/04/30

    FIB主要在于加工,一般应用在半导体或电子行业比较多 FESEM和SEM相比主要还是分辨率更高,图像更好

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  • 小M

    第3楼2015/05/01

    应助达人

    FESEM是场发射型扫描电镜,分辨率高一些。SEM包括FESEM。
    FIB是电子束和离子束两种源,电子束用来成像(相当于SEM),离子束用来纳米加工(主要是减薄),可以一边加工一边观察

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  • cvbs11

    第4楼2015/05/06

    FIB对样品减薄后可以用来观察截面,多用于镀层类的观察

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  • kawagoe

    第5楼2015/05/07

    通俗一点,FIB最主要是用来挖坑的!

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  • tj6726

    第6楼2015/06/07

    FIB有切割,看横截面的功能,且分辨率较高

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  • ypyang2007

    第7楼2015/06/18

    FESEM就是场发射的SEM,分辨率会比较高,拍出来的图像清晰。
    目前双束聚焦离子束SEM/FIB,它上面也可以配FESEM,既可以形貌观察,拍出清楚的图片,也能用FIB切割样品。主要看你的用途了。

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