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薄膜的平面样品制备

透射电镜(TEM)

  • 在做薄膜的平面样品时,采用了单面减薄,但是最后另外没有减的那面好象有东西附着,颜色变了,是因为单面减的原因?还是样品室被污染了,或者太热造成的.请高手指教啊,急的,谢谢!!!
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  • ywngs

    第1楼2006/10/14

    单面减薄溅射的东西会沉积在另外一面,当样品穿孔后低电压小角度扫几分钟可能会好些。

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  • stallistic

    第2楼2010/09/21

    如果膜很薄呢?5纳米?还能扫么?

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