EDS检测锂元素（Li3N）--X-Max Extreme

这么牛，有没有相关资料膜拜下

Sub-10 nm spatial resolution for SEM-EDS using a novel EDS detector design
http://www.oxford-instruments.com/products/microanalysis/energy-dispersive-x-ray-systems-eds-edx/eds-for-sem/silicon-drift-detector-(sdd)-x-max-extreme
附件是MM上的poster

不错，快追上透射了，不过low av 有好多线的激发能达不到吧，尤其是高原子序数元素

mercurycat(mercurycat) 发表:Sub-10 nm spatial resolution for SEM-EDS using a novel EDS detector design
http://www.oxford-instruments.com/products/microanalysis/energy-dispersive-x-ray-systems-eds-edx/eds-for-sem/silicon-drift-detector-(sdd)-x-max-extreme
附件是MM上的poster

只能用低能端的线。但是现在能谱低能端分辨率提高很快，而且软件（尤其是mapping）的重叠峰剥离能力大大提高。
所以很多情况下低电压做能谱是没有问题的