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求助:关于EDS能谱元素扫描

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 电路板针脚,在做EDS能谱的时候,会有N元素扫描出现,但是结果中多数时候,N元素的质量百分数是负值。既然扫描出现N元素,为什么是负值。
    这个负值是什么意思,超出定量限了吗?还是其他什么原因?
    请教大家!谢谢!
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  • fengyonghe

    第1楼2015/10/13

    背底噪音大了影响结果准确性。 增大计数率,使计数总量达到250000个。还可以调整可信度为2,就不会出现负值了

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  • allen308

    第2楼2015/10/13

    我的计数总量一般在200000多一些,因为导电性不是很好,所以扫描时间比较慢,直接在200000多一些就停止了。

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  • fengyonghe

    第3楼2015/10/13

    可信度调在2,不会出现负值

    allen308(allen308) 发表:我的计数总量一般在200000多一些,因为导电性不是很好,所以扫描时间比较慢,直接在200000多一些就停止了。

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  • allen308

    第4楼2015/10/14

    回头设置一下,再试试。谢啦!

    fengyonghe(fengyonghe) 发表: 可信度调在2,不会出现负值

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