扫描电镜(SEM/EDS)
小M
第1楼2015/11/09
TMP是涡轮分子泵,首先考虑它的故障问题。如果它没问题,再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗?
kawagoe
第2楼2015/11/09
建议尽快联系厂家
hongdesky
第3楼2015/11/09
机械泵能通电,但感觉机械泵没收到指令一样,没工作
第4楼2015/11/09
已联系厂家
第5楼2015/11/10
今天厂家过来维修,无需更换配件,只对分子泵放了气,重新开机就恢复正常了
第6楼2015/11/16
设备现在又出同样问题,其实前几天就出了问题,只是断断续续可以用,今天SEM每次放气时都报警分子泵问题
第7楼2015/12/05
更换一个阀门,问题解决了
okdb
第8楼2016/04/12
样品仓的密封圈也清洗并涂了点油,什么油
m3136732
第9楼2016/08/25
同样的设备用了十年出现了同样的问题。供应商也是先做了一下清洗,怀疑堵塞。设备运行了三天后再出现同样的放气死机状况。最后通过排查检修结果是阀门老化,更换。
第10楼2016/08/26
我们也更换了阀门,问题解决了
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