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点火失败

m3071358

2015/12/30

点火时有火焰形状，但1秒之后就熄了。重装炬管后点火成功。之前我们半个月没动过炬管，也没做过调谐。这是什么原因引起熄火呢？

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m3071358

第1楼2015/12/30

仪器报错提示是：等离子体电源功率不正确

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阶前尘

第2楼2015/12/30

应助达人

湿度大了或者氩气不纯？我昨天也别碰到这种情况，再试一次就好

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m3071358

第3楼2015/12/30

重新点火还是这个样子，只有重新安装炬管才有效果。我们环境湿度才30%，氩气也有过滤器，另外几台ICP都是一样的气。所以气的概率不大。我们几天前更换过RF电源，如果没有安装好会出现这种现象吗？
阶前尘(jieqian1211)发表:湿度大了或者氩气不纯？我昨天也别碰到这种情况，再试一次就好

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化工小能手

第4楼2015/12/30

http://bbs.instrument.com.cn/topic/5815417 这里有个点火问题的集锦帖楼主看一下有没有帮助

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化工小能手

第5楼2015/12/30

我觉得是有这种可能的
m3071358(m3071358) 发表:重新点火还是这个样子，只有重新安装炬管才有效果。我们环境湿度才30%，氩气也有过滤器，另外几台ICP都是一样的气。所以气的概率不大。我们几天前更换过RF电源，如果没有安装好会出现这种现象吗？

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