扫描电镜抽真空很慢的原因是什么？

补充：为什么早晨高压容易掉？掉了加，加了做俩张图掉，掉了重启软件再加。折腾几次慢慢稳定了。这都和什么因素有关？

真空泵跟分子泵有寿命的吧，好像2年要维护一次。

1，掉真空高压也会掉 2，当电子枪或高压发生器有轻微打火放电时高压就会关闭。若是后者情况会越来越严重。经验之谈供参考。

应助达人

高压打火说明某处绝缘不良，导致高压爬电或放电，最好电路过载保护性断电，此时必须解决绝缘问题和潮湿问题。
1、清理高压发生器的电路板，
2、解决空气潮湿问题，
3、提高真空度。

应助达人

可能不同牌子的电镜会不一样，最好把你的电镜牌子说出来，
越详细对你的问题解决越快。

第一:先排除样品问题，不放样品，开下样品交换仓（SEC）与样品仓（SC）中间的阀门MV，然后关掉MV，注意观
察SC的抽真空耗时。
第二：检查马达台、能谱接口、MV处的O型圈，并涂抹真空密封脂。
第三：检查机械泵是否
工作再最佳状态，重点关注泵油是否需要更换，油封及联轴器到保养时间一定要更换
如果严重影响使用建议即刻
联系供应商

可能使你的样品没有清洗干净，吸附到真空规上，清扫一下真空规，可能就好了。

是不是泵有问题了？

1.检查前级泵、分子泵。2 是否有漏气。
清洁一下oring圈