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【求助】求助：样品检测出现问题？

  • kuuikaifeng
    2010/07/29
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 大家做SEM的时候要不要洗一下啊
相关话题
    +关注 私聊

  • 蓝莓口香糖

    第1楼2010/07/29

    如果不特殊清洗，硅片表面总是会有一层氧化物的。

0
    +关注 私聊

  • huangtao0307

    第2楼2010/07/30

    你们是不是一个单位的啊，问题性质和内容都差不多，你可以参考下这个贴子
    http://bbs.instrument.com.cn/Topic.asp?threadid=2663867

    kuuikaifeng(kuuikaifeng) 发表:大家做SEM的时候要不要洗一下啊
    这两张是我用洗了的跟没洗的样品做的
    。。除开这些的话，还有一个问题就是样品与衬底的那条黑线。。按比例看应该有170nm。。是由于界面的差异产生的呢 还是因为有其他相得生成啊?我的样品室在硅衬底上长非晶膜，没有刻意去长一层SiO2。。。但是EDS显示有少量的O元素。。现在就不太解 这黑线是什么了。。。老师觉得是SiO2，我觉得不是。。。

    没有洗


    洗过了

0
    +关注 私聊

  • fengyonghe

    第3楼2010/07/30

    回复的人不多，我是一直都没看明白哪是基体、哪是生长的膜、哪是亮线、哪是黑线。能不能用箭头标注下。

0
    +关注 私聊

  • huangtao0307

    第4楼2010/08/03

    你的圖片怎么不見了

    kuuikaifeng(kuuikaifeng) 发表:大家做SEM的时候要不要洗一下啊

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