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网友问扩散泵关闭,有返油,怎么办?

气质联用(GCMS)

  • 我有一台5975配的是扩散泵,昨天装机抽真空,今天早上过来发现提示扩散泵关闭,我打开看了下,发现有返油,现在简单檫了一下,不知道还可以再次抽真空吗?
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  • symmacros

    第1楼2016/04/12

    应助达人

    我想需要检查一下扩散泵的油量是否足够,油是否变色。不知道返油是否严重?返油严重就需要检查真空腔,或进行相应的清洗等。如果轻微的返油,油量合适,就开机再次抽真空。同时开机前也检查前级机械泵的油位油的颜色。

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  • 有雨的夜

    第2楼2016/04/12

    再次抽真空前,要先检查一下返油的原因及程度,如果直接开,可能还会遇到上次的现象,而且没有解决问题,请问这个泵用多久了,我们的5975都没有用扩散泵的了

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  • 千层峰

    第3楼2016/04/12

    扩散泵,意外关机,容易返油,UPS很重要

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  • symmacros

    第4楼2016/04/12

    应助达人

    扩散泵遇到停电等意外情况就容易返油,在tic上面会看到446的离子。

    千层峰(jxyan) 发表:扩散泵,意外关机,容易返油,UPS很重要

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  • 千层峰

    第5楼2016/04/12

    是的,以前用6890-5973曾遇到一次返油的情况。。

    symmacros(jimzhu) 发表: 扩散泵遇到停电等意外情况就容易返油,在tic上面会看到446的离子。

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