气质联用(GCMS)
symmacros
第1楼2016/04/12
我想需要检查一下扩散泵的油量是否足够,油是否变色。不知道返油是否严重?返油严重就需要检查真空腔,或进行相应的清洗等。如果轻微的返油,油量合适,就开机再次抽真空。同时开机前也检查前级机械泵的油位油的颜色。
有雨的夜
第2楼2016/04/12
再次抽真空前,要先检查一下返油的原因及程度,如果直接开,可能还会遇到上次的现象,而且没有解决问题,请问这个泵用多久了,我们的5975都没有用扩散泵的了
千层峰
第3楼2016/04/12
扩散泵,意外关机,容易返油,UPS很重要
第4楼2016/04/12
扩散泵遇到停电等意外情况就容易返油,在tic上面会看到446的离子。
第5楼2016/04/12
是的,以前用6890-5973曾遇到一次返油的情况。。
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