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电压对分辨率的主要影响

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请教各位SEM大侠
    在同样的WD, 同样的束斑和不考虑放电效应的条件下,请问二次电子像的分辨率是在高电压时好还是稍低电压时好?
    在高电压时,电子能量高,BSE所产生干扰会增强,如SE2-5及其产生的diffusion contrast等。此时信噪比因该会差一些?就SEM 而言,电压对分辨率的主要影响在哪里?盼指教!

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  • skyhunter

    第1楼2006/11/08

    当然是电压高,分辨率要好了。

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  • spinglass

    第2楼2006/11/08

    ---------------------------------

    能否详细点?

    skyhunter 发表:当然是电压高,分辨率要好了。

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  • miumiu

    第3楼2006/11/08

    高电压可能会引起非导体样品的充电效应,所以高电压不一定图像效果比低电压好。

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  • skyhunter

    第4楼2006/11/08

    相同条件下,增加电压是为了增加束流密度,也就是增加激发的二次电子的数量,表现在图像上,是增加图像的亮度,就是说相同条件下,尤其是相同的数班尺寸下,获得更多的信息,当然是图像更清晰,也可以理解为分辨率更好了。

    解释的有点乱。抛砖引玉吧!

    哦,电镜的分辨率跟样品无关!用的应该都是标样吧!

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  • 常怀千岁忧

    第5楼2006/11/08

    不考虑其他因素
    加速电压越高,电子束波长越小,分辨率肯定越高
    毋庸置疑

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  • semuser

    第6楼2006/11/08

    电镜图像分辨率由三点决定:
    1、加速电压,其他参数相同,加速电压越高电子波长越小,分辨率越高;
    2、样品的原子序数,越高则电子束在样品中的扩散性越小,分辨率越高;
    3、信噪比,棋他参数相同,轰击的电子越多,样品激发的信号越多,分辨率越高。

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  • spinglass

    第7楼2006/11/09

    各位大侠,万分感谢!

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  • 共工

    第8楼2006/11/09

    您的解释已经接近完美, 补充一下
    电镜光路中常讲的色差, 是由于 单个电子所拥有的加速动能的不均匀性造成的,加速电压越高,这个不均匀性就越小,象差就越小,因而分辨率有所提高。

    semuser 发表:电镜图像分辨率由三点决定:
    1、加速电压,其他参数相同,加速电压越高电子波长越小,分辨率越高;
    2、样品的原子序数,越高则电子束在样品中的扩散性越小,分辨率越高;
    3、信噪比,棋他参数相同,轰击的电子越多,样品激发的信号越多,分辨率越高。

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  • dlclq

    第9楼2006/11/09

    长见识了,又多了解了,谢谢大家

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