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菜鸟求大神教薄膜应力的测试方法

X射线衍射仪（XRD）

  • 最近踩有磁控溅射镀铜，想分析薄膜的参与应力，采用Jade6.5测试了微观应力及晶粒尺寸，选择黄继武老师教材里面建议的用两组平行的晶面作拟合后计算，但是方差很大，显然结果不对，现在心里很没底，想请教下有没有大牛做过这方面的工作，我看到有些大牛采用其他的仪器测试的薄膜应力，甚至还有三位的图出来，都是怎么测怎么算的啊？
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  • iangie

    第1楼2016/09/07

    应助达人

    薄膜有多厚？如果是微米级的用普通的sin2ψ法就可以测
    如果是纳米级的最好用GID测应力了，不同的HKL峰的ψ偏角不同，用LEPTOS软件 就能求得Residual Stress

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