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【讨论】椭偏仪测量薄膜厚度

feiliao

2006/11/21

物性测试综合讨论

在si片上镀一层纳米碳膜，碳膜表面光洁如镜面，采用椭偏仪测量薄膜的厚度，测量时选择基底材料为si，将k设为0（透明薄膜，不知是否准确或透明薄膜如何定义？），根据SEM测量得到的薄膜厚度拟合得到一个n值(2.0921），采用此n值对类似情况下制备的薄膜进行厚度测量，测量得到的结果还行，基本与肉眼看到的薄膜厚度差别相当。

不知此方法是否正确？
1.是否能采用透明膜的测量方法测量碳膜？
2.采用同一n值测量厚度是否合适？

希望高手指点，谢谢！

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