扫描电镜和能谱的自校准

不同型号校准过程有差别，我只有牛津能谱的

一般无需自校准，场发射扫描电镜都是直接操作就行。能谱一般只能定性分析，不能定量分析，而且能谱结果应该和已知的成分进行对比，可以适当修正。
样品尺寸按材料性质有所区别，金属试样为薄片、长方体、圆片都可以，只要尺寸不超过放样品的样品仓和样品台就行。

我们实验室要申请CNAS认证，要求所有的仪器都应该有相关的规程，自校准是必须有的一个环节。大侠，能把你的牛津能谱的自校准规程发给我参考一下吗？谢谢！

能谱仪时间长了或室温有变化还是会漂移的，只粗略的定性分析可不校准，若要定量分析须校准。如果定量分析达不到一定的水准是拿不到证书的。只能内部用用，分析结果对外无效。

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13899855380@163.com,谢谢大侠

应助达人

SEM自校准，需要自己有标样，像蔡司应该是用240nm的表样。
能谱的话，像EDX公司的需要用CU/Al表样 校准。特别是峰行左右偏移时；牛津的也一样操作吧。