【讨论】ＳＥＭ中测物质成分的方法准确率有多高？请高手指点

看能谱厂商的技术了

啥叫准确率啊？

我专门做SEM和EDX分析,包括集成电路和元件失效性，包括一些大的连接器件公司都我我做，需要的话跟

我联系.可以提供专业的SEM/EDX报告.13564429710(杨).qq190154512

相对误差 高斯分布（正态分布）的标准偏差：σ
在 ±σ，±2σ，±3σ出现的概率分别为68.3%，95.4%，99.7% 相对误差=1/√N
重量百分数＞20%允许的相对误差≤±5%
重量百分数3%～20%允许的相对误差≤±10%
重量百分数1%～3%允许的相对误差≤±30%
重量百分数0.5%～1%允许的相对误差≤±50%
1.    不平坦试样，可用三点分析的平均值表示，或在总量误差小于等于±5%的情况下，如果确认没有漏测元素时，允许归一化作为定量分析结果。偏差大于±5%，只能作为半定量结果。
2.    无标样定量：重量百分数50%，准确度（这里指绝对误差）约为2.5% 。 任何谱仪B,C,N,O等超轻元素准确度都较低。
3.    有标样定量：大多数元素的准确度近似1%或更好。如果元素含量50%。则准确度为0.5% 。超轻元素的准确度可以达到百分之几。B元素结果较差

能谱的准确度很难给出，和样品的情况－导电性，是否平坦致密，成分组成；工作条件－加速电压，电流，采集时间都有关系。
或许这也是为什么有人吧能谱说成是半定量分析的一个原因吧！