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徕卡新品丨微电子和半导体用检验系统 DM3?XL

  • 天津徕科
    2017/09/26
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  • 在微电子和半导体行业中,检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快,您做出响应的速度也就越快。
    DM3 XL 检验系统凭借高稳定性大载物台,大视场帮助您的团队更快地识别缺陷,提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜,视场宽敞 30%。



    平托式6”大载物台,稳重大气
    为用户大样品需求量身定制的6”大载物台,摒弃了传统的悬臂式固定方式,采用了平托式技术,帮助客户更快速精准的进行样品定位。
    多种可选载物台插件满足您的更多需求。无论您想要检验的样品是哪种类型,尺寸如何,均有种类丰富的载物台插件供您选择。
    · 载物台移动方式:平托式
    · 载物台尺寸:150 mm x 150 mm
    · 载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座




    适用于所有相衬观察方法的 LED
    DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温,并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
    · 在所有亮度等级下实现真彩色成像
    · 自由调节
    · 无需更换灯泡 - 无停机时间
    · 可复制的结果
    由于 LED 使用寿命长,耗电量低,因此还具有巨大的成本节约潜力。



    光学“高手”
    DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。
    · 采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑:
    · 以简单有效的 方式从不同角度照亮样品,从而实现各种形貌的可视化。
    · 借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。
    您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。



    有效的人机工程学设计让工作更舒适直观
    彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化,有助于提升您的工作速度,并最大程度减少操作失误。
    直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付最佳结果。
    · 得益于可轻松操作的控件,用户可在切换对比度或照明时,双手继续操作显微镜,双眼专注于样品之上。
    · 右手可轻松操控光强控制器
    · 使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮,根据不同身高调整显微镜

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