瞬渺科技
第3楼2017/10/13
科研史上前所未有的观测手段——数字全息可高速实时测量三维形貌,达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。
表征透明/半透明三维形貌
? 测量厚度从几纳米到几十微米
? 可测最高三层透明薄膜
? 测量薄膜折射率
? 微纳器件动态三维形貌时序图(1000fps), 还可测频率响应(高达25MHz)
主要应用
北京大学 搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能
天津大学 微结构表面形貌和运动特性测量
华中科技大学 微纳制造与测试,微小光学元件检测,微电子制造封装与测试
清华大学 透射式全息显微镜,测量透明样品形貌,还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等
? 超快速高精度的三维成像,大面积三维形貌表征,表面粗糙度,MEMS振动测量分析,表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试
配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能