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创新方法——超高速实时测3D形貌测量,样片展示

  • 瞬渺科技
    2017/10/09
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 1、红细胞3D
    2、粗糙度表面形貌
    3、光敏聚合物受光形变
    4、石墨烯薄膜受力形变
    测量原理是全息术:CCD采集物光与参考光干涉形成的全息图包含了物体的相位信息,再实时数值重建3D形貌。
    优点:1、超高速大面积3D形貌非扫描实时成像,成像速率能做到1000fps
    2、纵向能做到亚纳米分辨率
    3、非接触成像,无损样品,无惧振动
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  • 小M

    第1楼2017/10/10

    应助达人

    看起来挺炫酷的,但是好像不太完整

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  • 瞬渺科技

    第2楼2017/10/13

    只是简单分享了几个样品拍摄成果,其实还有很多资料

    小M(mitchell_dyzy) 发表:看起来挺炫酷的,但是好像不太完整

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  • 瞬渺科技

    第3楼2017/10/13

    科研史上前所未有的观测手段——数字全息可高速实时测量三维形貌,达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。

    表征透明/半透明三维形貌
    ? 测量厚度从几纳米到几十微米
    ? 可测最高三层透明薄膜
    ? 测量薄膜折射率
    ? 微纳器件动态三维形貌时序图(1000fps), 还可测频率响应(高达25MHz)
    主要应用
    北京大学        搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能
    天津大学        微结构表面形貌和运动特性测量
    华中科技大学        微纳制造与测试,微小光学元件检测,微电子制造封装与测试
    清华大学 透射式全息显微镜,测量透明样品形貌,还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等

    ? 超快速高精度的三维成像,大面积三维形貌表征,表面粗糙度,MEMS振动测量分析,表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试
    配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能

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  • m3231228

    第4楼2017/11/09

    您好,请问有没有详细资料,怎么测试?

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  • Ins_750762c6

    第6楼2020/11/30

    MEMS Analysis Tool这个工具哪里能买到

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