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微纳形貌分析利器——4D微纳形貌动态表征

  • 瞬渺科技
    2017/10/13
    • 私聊

扫描探针显微镜SPM/AFM

  • 科研史上前所未有的观测手段——数字全息可高速实时测量三维形貌，达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。

    表征透明/半透明三维形貌
    Ø 测量厚度从几纳米到几十微米
    Ø 可测最高三层透明薄膜
    Ø 测量薄膜折射率
    Ø 微纳器件动态三维形貌时序图（1000fps）， 还可测频率响应（高达25MHz）
    主要应用
    北京大学 搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能
    天津大学 微结构表面形貌和运动特性测量
    华中科技大学 微纳制造与测试，微小光学元件检测，微电子制造封装与测试
    清华大学 透射式全息显微镜，测量透明样品形貌，还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等

    • 超快速高精度的三维成像，大面积三维形貌表征，表面粗糙度，MEMS振动测量分析，表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试
    配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能
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  • 小M

    第1楼2017/10/13

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