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高速实时非接触3D测量技术——0.001秒实时非接触动态测量,亚纳米精度

  • 瞬渺科技
    2017/11/24
  • 私聊

表界面物性测试

  • 数字全息显微镜DHM测量材料动态的3D形貌,亚纳米分辨率,基于菲涅尔衍射的数字全息重建技术

    仅0.001秒即可测出物体三维形貌,并且是亚纳米的分辨率。不同于传统白光干涉仪、共聚焦显微镜、扫描探针轮廓仪等需要扫描的成像方式,DHM仅需0.001秒采集单张全息图即可测出物3D形貌信息,做到了快速动态监测。
    和传统全息术不一样的是没有采用干板而是采用CCD记录全息图,全息图中
    光强图:提供与传统显微镜一样对比度的图像
    相位图:提供量化数值,得以对被测物体进行精确三维测量
    该系统为预放大全息显微镜,其中的相位图解析中用到了大量的算法,实时相位解包裹技术
    实时形貌测量的案例二:石墨烯薄膜受力形变实时测量
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