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离子减薄怎样才能减出厚度均匀的薄区？

  • 晴天雨天哈哈哈
    2018/01/22
    • 私聊

透射电镜（TEM）

  • 用双束离子减薄减出的薄膜样品在拍弱束像的时候厚度条纹特别密，习惯的减薄角度是+-4°，4.0kev减出薄区再用2Kev修几次，不知道大神们有没有什么好的减薄条件可以减出厚度均匀的样品？
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    +关注 私聊

  • 洪星二锅头

    第1楼2018/01/24

    到4?，用低能量2kv左右5-10min精修就可以，时间不能太长了，容易把孔洞边缘的薄区打没了

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