透射电镜（TEM）
洪星二锅头
第1楼2015/10/23
刚启动，机械泵抽的镜筒和照相室，你看看从开机到机械泵停止工作时，各个真空值的变化，记录一下如果数值是在变化的，说明机械泵没有问题，那么就要看离子泵能正常工作，记录其工作状态，离子泵的工作需要在打到一个真空数量级方可工作，如果低于这个值，又会重新用机械泵抽，如此反复如果某一个有问题，说明其中的阀门虽然显示是开启的，但是其实是未打开的，需要工程师来测量这个阀门快关的输入电压和信号通畅情况具体的解决方法，建议直接和工程师对话，如果他们的建议解决不了问题，只能要求其上门检修了
kennyxue
第2楼2015/10/30
看看扩散泵是不是加热了？
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