•油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。
•当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后,其速度逐渐增大,压力及密度逐渐降低,射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B,在B处,工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用,而被抽气体在B处堆积、压缩,最后被下级射流携带走,以达到逐级压缩,最后被前级泵抽走
•油扩散泵的优点是成本较低,没有可移动部件,维护简单。
•缺点是会有泵油蒸汽进入真空腔内;发热较大;若突然停电,泵体无法散热,会对仪器造成严重的污染。因此目前在气相色谱-质谱联用仪中已基本淘汰