扫描电子显微镜的电荷效应讲解

老铁，你这是在哪里贴过来的东西？图片都没有

上传有点麻烦，下次配好

1，电子束轰击样品是有一定深度的，不导电样品镀导电膜可以解决表面荷电，样品内部的电荷积累如何解决？ 实际上有的样品电子束激发的更深，镀导电膜也无济于事。
2，“只有原始电子束能量为v1和v2，二次电子产额δ为1，即入射电子和二次电子数相等，样品不增加或减少电子，并且没有形成吸收电流。”应做如下修改：
只有原始电子束能量在v1和v2之间时，二次电子加背散射电子之和可自动降低到1，即入射电子和二次电子数加背散射电子数相等，样品不增加或减少电子，并且没有形成吸收电流。

电子束入射深度通常不会很大 尤其低电压下 这部分电荷能轻易跑到表面的镀层 应该不会造成影响。而且 在入射电子束通过的路径上 样品中基本上都会产生一些载流子 生成临时的导电通道 足够深层电荷跑到表面镀层

电子束入射能量应该还是处于e1或e2 才能有较好的消除荷电效果 否则e1和e2之间的能量范围好大 太容易满足了 实际上不导电样品还是不好拍的 例如 对于大多数材料 1kv都在这个区间 但这个电压拍一些绝缘体和宽禁带半导体 还是会出现荷电现象

6）改变图像采集策略：扫描速度越快，图像信噪比就越大。

应该改成： 扫描速度越快，图像噪信比越大

1、均匀封闭的接地膜层，起到了电场屏蔽作用，在镀膜表面是均匀的零电位。