NQI专项“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”项目实施方案论证会暨启动会...

9月8 日，＂十三五＂国家重点研发计划＂国家质量基础的共性技术研究与应用＂重点专项（以下简称＂NQI专项＂）＂纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范＂项目实施方案论证会暨启动会在中国计量科学研究院和平里院区召开。来自北京航空航天大学、西安交通大学、哈尔滨工业大学、中国科学院微电子研究所、全国标准物质管理委员会、中科院自动化所等单位的专家，以及中国计量科学研究院院长方向、相关职能部门负责人和项目参与单位技术骨干等参加了论证会。我院承担了项目中的两项子课题，课题负责人曹丛参加了项目论证会。

　　西安交通大学蒋庄德院士代表项目组向咨询专家组介绍了项目总体情况和实施方案，各课题负责人分别汇报了课题实施方案。专家组认真听取了汇报，一致认为：项目实施方案目标明确、研究内容设置合理、技术路线切实可行、保障措施有力，同意通过论证。

　　该项目拟研制从16nm到2000nm的一维、二维栅格和线宽等几何特征参量计量标准器，实现高精度定值、校准和溯源，并建立从国家到地方直至产业的全链条、全覆盖的纳米几何量值传递溯源体系，面向集成电路、国防军工、先进制造和生物医药等典型产业开展应用示范。该标准器的研制和应用，将从根本上解决我国纳米计量标准器缺失，以及量传体系与产业脱节的问题，并将打破国外垄断，提升产品质量和国际竞争力。