扫描电镜(SEM/EDS)
驰奔仪器
第1楼2018/11/08
应该是偏压设置不太对吧,全自动试试
Insm_6a522b37
第2楼2018/11/09
全自动也一样。。??
第3楼2018/11/09
大范围改变预设偏压 Bias,正常LC会有很大幅度变化。看说明书有没有LC与Bias对应值。
fengyonghe
第4楼2018/11/11
和高压也有关系,和束斑直径也有关系
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