请问采用SEM+EDS进行成分分析时，放大倍数选择问题

应助达人

可以500倍下框选较大区域进行成分分析，然后把时间调到一分钟以上

选区和定点分析效果是一样的，只要你认为选择区域是均质。
放大不同倍数，是为选区或选个定点分析导航更精确。

应助达人

0点几个mm区域应该是很大的了。如果你分析的区域是干净的且均匀平整的，你可以小倍数分析就好，跟大倍数分析是没太大差别的.但是做能谱还是在大倍数下分析会比较准确些.建议你先小倍数分析下整个区域，再放大去挑些干净的地方分析，看是否有差别.若有差别，要分析下原因，就会知道哪个才是真正的成分了.

如果高压和束斑直径不变，单纯提高放大倍数只是改善了视觉效果，对分析准确性没有影响。高压和束斑直径决定了X射线的激发范围，与放大倍数无关。选择正确的高压和束斑直径才能提高测量准确性。你可以根据有关公式计算一定高压下的激发直接，之后看看这个激发直径是否超过了你要分析的目标物的直径。如果超过了，测量结果就包含了你不需要的基体成分。至于放大倍数只要能显示清楚就可以了。

束斑直径不随放大倍数变化吗

据说有这样的设计，但绝大多数SEM, 需要提前设置束斑直径，在往后的操作中不随放大倍数变化。
你可以观察亮度对比度调节值，是否自动随着放大倍数自动调节？
如随着变化，那么束斑直径是随着放大倍数变化；
如不随变化，那么束斑直径否随着放大倍数变化。
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备注：束斑随着放大倍数自动匹配调节，这是未来的追求！
想象很美好，现实很骨感！
合轴问题是一个顽固的问题

请问下各位束斑直径是在哪里设置？

调节聚光镜焦距，一般软件上标注为 Spot size 或者 Probe size

好的，谢谢，那跟电压电流有关系吗？