扫描电镜（SEM/EDS）
一颗蒲公英
第1楼2019/09/17
找能谱厂家问下就好了撒。
sept
第2楼2020/03/18
各EDS厂商的SDD晶体面积没有统一规格，目前市面上最大有窗能谱是牛津的170。配置什么规格的能谱主要看电镜的档次了，电镜规格比较高的话建议配个大面积的能谱，如果是钨灯丝电镜，配个入门级的能谱也是够用的。
dahua1981
第3楼2020/03/19
本论坛就有很多
第4楼2020/04/03
补充一句，如果做100nm左右的特征，建议考虑有效晶体面积100mm2，或170mm2的能谱。这样可以在较低加速电压下，实现高空间分辨率的分析。另外，如果是冷场的话，更推荐大面积的能谱，比如170的。
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