特气控制面板的设置

小盖谈气路

2019/09/11

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特气控制面板的设置
特气输送面板是气源部分非常重要的控制单元。一般工艺气体从钢瓶出来，经过高压控制盘面时，都实现了一次调压、过滤、流量稳定、吹扫、抽真空、压力侦测等功能。不同的气体和工艺需求，可以根据实际情况定制具体功能。现阶段，越来越多的高校实验室引入了ICP、PVD、PEVCD等设备进行芯片镀膜、刻蚀方面的研究，这些工艺气体多是硅烷、乙烯、溴化氢等毒腐、易燃易爆性气体，对于气源的控制要求非常高，也给供气面板提出了很多要求。
设计参考：
自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶；
气瓶压力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关；
自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀；
气体面板应设置工艺气体排气口。
可燃性特气柜设计参考：
硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/H，且气柜的负压应连续监控；自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器；可燃性特种气体的气瓶柜应设置谁喷淋系统；自燃性特种气体的气柜应在气瓶之间设置隔离钢板。
输送控制面板的设计对于整个供气系统的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用，在设计初期，业主需要将工艺、要求等提供给设计院作为设计依据，同时，在建设周期，有必要参考相应的规范将要求落实到施工当中去。