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pn结轮廓能用扫描电镜表征吗

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 如题，请问pn结轮廓可以用扫描电镜表征吗？或者说，在半绝缘SiC衬底上注入Al，能看出Al的轮廓吗
相关话题
    +关注 私聊

  • 小偷爸爸

    第1楼2019/11/09

    可能性不大。这个主要看注入的剂量和扫描电镜的型号。

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    +关注 私聊

  • 世界公民

    第2楼2019/11/22

    可以，不过要先腐蚀一下

0
    +关注 私聊

  • canne_yswei

    第3楼2020/01/08

    要看PN节是多大尺度的。只要不是特别小，应该能看到。

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