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射频溅射陶瓷靶表面有金属颗粒？
Insm_d3cf2b75
2020/06/15
私聊
表界面物性测试
本人是研一新生，使用氧化饵陶瓷靶射频溅射氧化饵薄膜，但是溅射之后靶的表面有很多金属颗粒状物体于靶材表面，原因无从而知，希望大佬们能给些意见，谢谢你们！
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