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晶圆表面气相分解后，收集液体所用的回收液，为什么要用到双氧水

  • Insm_7eafc8d7
    2020/07/07
    • 私聊

ICP-MS

  • 晶圆表面气相分解后，收集液体所用的回收液，为什么要用到双氧水？？？，双氧水起到什么作用，为什么不用硝酸？？？

    请教各位大大！！！
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    +关注 私聊

  • summerlwl

    第1楼2020/07/08

    我猜是：双氧水的氧化性很强，可以使晶圆表面产生氧化硅保护层。

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    +关注 私聊

  • 光哥

    第2楼2020/07/08

    应助工程师

    VPD里面已经有HF和HNO3了吧，H2O2的氧化性相对较强，另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些

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    +关注 私聊

  • Insm_7eafc8d7

    第3楼2020/07/09

    按照你所说H2O2对于阳离子比HNO3要好，ICP-MS分析的是金属都是阳离子吧，那还要HNO3干什么呢？？？？

    光哥(xsh1234567) 发表:VPD里面已经有HF和HNO3了吧，H2O2的氧化性相对较强，另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些

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