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束斑 spotsize大小测量

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 经常看到有提到束斑spotsize大小，好像有的电镜系统里能查看到，我用的蔡司Gemini，有达人知道在哪查得到吗？或者有什么方式能测量吗？谢谢。
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