扫描电镜(SEM/EDS)
第1楼2005/05/18
像散的产生的原因有很多,聚光镜像散和物镜像散是调节的重要环节。至于消像散,一般熟练的操作员可以直接观察无定型碳膜的颗粒是否圆润来判断。现在可以通过TV 相机来直接观察,如果没有TV 相机,则可以通过CCD相机,Gatan公司的软件上有个live fft的选项,可以观察傅立叶转换之后的园晕是否为正园就可以判断了。但像散的操作是拍摄高分辨最关键的环节,需要常练习找感觉才行。另外调节像散之前需要认真调高压中心,这个也是很关键的。两个都能熟练调节,一般就问题不大了。
第2楼2005/05/19
楼上的大哥讲的是老透射电镜,现在有的厂家有辅助消像散功能,方便多了。像散有固有像散和随机像散,固有像散是设备出厂就有的,很小,大小基本固定,主要由固定光阑决定;随机像散是不定的,主要由活动光阑和系统洁净程度决定,所以如果像散太大,超过调解量的一半,就需要调活动光阑,还不行就要考虑清洗了
第3楼2005/05/19
wow一下,呵呵,现在的技术发展真快啊,我的机器上也只是一个辅助的软件才有自动消像散功能。不过很多熟练操作人员喜欢用手动消像散,见过一个JEOL的工程师,连TV camera都不屑用,直接用显微镜800K观察碳膜。另外,如果常用的话,像散一般很少,稍微调节一下就可以了,400K一下我一般都不用调直接拍的。
第4楼2005/05/19
啊饿,好的,强
第5楼2005/05/23
请各位谈谈扫描电镜啊。
第6楼2005/05/23
扫描电镜现在的软件比较先进,一般都有自动消像散的选项,如果是低倍,那么还是效果不错的。至于高倍率消像散,一般找一块相对平整的区域,有突出颗粒的最好,用来感觉是否像散是否合适。然后再找附近一个类似的区域,同样消一次。这样两三次基本就没问题了。如果没有像散,聚焦的时候能感觉物体边缘垂直屏幕移动,而不是上下左右的变化。个人经验而已。
第7楼2005/10/08
ai, 看来我的那台SEM实在是太落后了,>500x象散特别严重,每次都要手动去调。我的感觉是:调焦时若发现颗粒变形拉长便存在象散。
第8楼2005/10/08
可以通过欠焦和过焦对比一下
第9楼2005/10/08
对于扫描电镜个人感觉最好在合适的倍率下找一个清晰边缘的圆形颗粒,若在过焦欠焦状态来回切换,四周边缘不能同步的变清楚或模糊,就是有像散的存在;若是出现明显的变形拉长,像散可能比较严重。将焦距定在正焦点消像散,会看到颗粒边缘同步变清晰,过焦或欠焦时四周同步模糊,基本上就是消除好了。一般建议先在低倍下消,然后切换到高倍自动消像散功能基本上没有多大用处
第10楼2005/10/10
同感~,好久没用过自动消像散了~
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