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SEM真空腔散热

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2021/02/24

自己家日立的扫描电镜真空腔用着会产生热量导致拍出来的图像不清晰，请问有什么解决办法或者有哪方面的相关文献吗？

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什么型号的电镜？真空腔产生热量？热量很大吗？一般热量是几种在顶部灯丝附近的。

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影响扫描电镜图像质量的因素主要有加速电压、扫描速度和信噪比、束斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等。具体原因分析及解决办法参考下文。
[1]周广荣.影响扫描电镜图像质量的因素分析[J].现代仪器,2010,16(06):57-59.

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