ICPMS离子真空规故障

应助达人

真空规换一个，最好让维修的上门，现场检修吧

应助达人

有可能是真空规的问题，也有可能是两块加压板的电路问题。真空规可以自己换但是加压板的问题还是让维修的上门现场检修吧。

我今天也遇到了，报修吧。
Ion Gauge Assembly ，货号 G7003-80303

这是什么情况啊老师

待机、测试阶段，离子规不会坏；

但是 卸载真空，后续重新加电时，离子规就容易坏

（类似于 灯泡亮着，很少会烧灯丝；但 开关电路时，灯泡灯丝容易在瞬间电流烧了）

我今天是卸载真空、断电，更换 炬箱X-Y轴步进马达皮带；
重新加电时，离子规就“挂了”
有维保合同，明天就能收到备件，自己再更换。

我今天是电源坏了，主电源供给RF的回路没有输出，真空-冷却-炬管盒三轴电机供电都正常。还是刚一年的机器，安捷伦的产品力这么差了吗？？？

timstoicpms(timstoicpms) 发表:待机、测试阶段，离子规不会坏；
但是 卸载真空，后续重新加电时，离子规就容易坏。

我今天是卸载真空、断电，更换 炬箱X-Y轴步进马达皮带；
重新加电时，离子规就“挂了”
有维保合同，明天就能收到备件，自己再更换。

我这儿 7700 7900 原装电源分别撑了6年、5年，都更换新的了

离子规和真空规是一个东西吗