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【实战宝典】硅片表面元素如何分析？

  • 小官人-闭关修炼中
    2022/07/05
    • 私聊

ICP-MS

  • 问题描述：硅片表面元素如何分析？
    解答：
    为了检测硅片表面的污染，必须从硅片表面将污染元素萃取出来，萃取方法分为手工萃取和化学气相沉积（VPD）自动萃取。目前，绝大部分8寸以上的硅片表面元素萃取采用VPD方式进行。



    VPD-ICP-MS一般地萃取过程

    某Fab厂全自动VPD-ICP-MS系统

    某硅片分析结果 *[10]

    以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》
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