【实战宝典】半导体ICP-MS分析实验室如何准备？需要哪些配置、注意事项有哪些？

小官人-闭关修炼中

2022/07/05

私聊

ICP-MS

问题描述：半导体ICP-MS分析实验室如何准备？需要哪些配置、注意事项有哪些？
解答：
1、超净间

通常半导体ICP-MS分析需要的无尘室面积需要在60平米以上，包括更衣间、风淋室、前处理房间、ICP-MS房间，算上外围的空调机房、钢瓶间等，房间面积至少需要100平米，具体规划需要根据实际情况来确定。

1000级超净间
100级超净台

2、超纯水机

用于制备符合要求的超纯水。

纯水机

3、高纯试剂及多元素混合标准溶液，单元素标准溶液

高纯试剂，包括硝酸，盐酸，氢氟酸等，用于溶液配制，清洗等。多元素混合标准溶液和单元素标准溶液用于标准溶液配制。

高纯试剂

标准溶液

4、PFA取样瓶及洗瓶

根据使用要求，选择配置PFA样品瓶及PFA气体洗瓶，规格可选100ml、 250ml、500mL、1000mL等。

PFA取样瓶及洗瓶

5、移液枪及移液枪头

根据需要，配置多种规格移液枪，如10－100μl， 100－1000μl， 500－5000μl，移液枪头建议与移液枪量程配套。

移液枪及移液枪头

6、天平

建议配置量程220g精度0.1mg以及3kg精度0.01g的天平各1台。

天平

7、超净间用其他相关物品

无尘室应用到的相关配件包括防静电服，无尘防酸碱手套，口罩，帽子，防静电靴，护目镜，防毒面罩，无尘纸，无尘布，超声波清洗仪等

个人防护
无尘服，口罩，手套等
超声波清洗仪

8、电热板

用于加热使用，用于硅基样品处理。

电热板

以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》