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安捷伦5973扩散泵加热器会自动关闭

  • Insm_89b41df3
    2022/07/15
    • 私聊

气质联用（GCMS）

  • 公司一台安捷伦的5973气质在运行几天到十几天后会自动关闭，问了售后的朋友，说是哪儿漏气，导致仪器保护性关闭。排查了进样口，接口，真空腔侧板，没发现有漏气。后面问了厂家工程师说是扩散泵坏了。现在搞不清楚究竟是什么问题。加热器自动关闭后，温度就升不上去了，要重新开机抽真空。调谐图谱看起来也不像是漏气，请各位大神指点指点
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  • 通标小菜鸟

    第1楼2022/07/15

    应助达人

    检查一下前级机械泵，如果泵油少或者漏油也会导致这种情况发生

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  • wuyuzegang

    第2楼2022/07/15

    应助达人

    既然能正常开机运行十几天显然不应是漏气造成的，大概率是扩散泵的问题，也不该是漏油或油少，那样下次就不应该能正常开机了。

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  • Insm_89b41df3

    第3楼2022/07/15

    好的，谢谢

    wuyuzegang(dahua1981) 发表:既然能正常开机运行十几天显然不应是漏气造成的，大概率是扩散泵的问题，也不该是漏油或油少，那样下次就不应该能正常开机了。

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  • Insm_89b41df3

    第4楼2022/07/15

    谢谢大神，泵有点漏油，油还有一半，我排查下这个问题

    通标小菜鸟(v3141805) 发表:检查一下前级机械泵，如果泵油少或者漏油也会导致这种情况发生

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  • 安平

    第5楼2022/07/15

    应助达人

    不像是漏气
    。

    可能是有硬件故障，建议报修一下为好。


    扩散泵如果有问题，可能后果很严重。建议马上报修

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  • 安平

    第6楼2022/07/15

    应助达人

    这台仪器502和503碎片分辨率较低，最好一同报修

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  • Insm_89b41df3

    第7楼2022/07/15

    问过安捷伦的工程师，说是扩散泵坏了，让换泵。问过做售后的朋友，说是漏气。现在不能确定原因，换泵要5万。

    安平(byron1111) 发表:不像是漏气。可能是有硬件故障，建议报修一下为好。扩散泵如果有问题，可能后果很严重。建议马上报修

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  • symmacros

    第10楼2022/07/15

    应助达人

    有可能是硬件故障，不过请问扩散泵油多长时间换过？泵的温度怎样？有无过热？注意，小心烫伤。

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