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第1楼2022/08/23
1.gilent B1500A 半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的模块化仪器,可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉冲测量。它采用常见的 Microsoft ® Windows ® 用户界面,可支持 Agilent EasyEXPERT 软件。该软件为器件表征提供更直观的、面向任务的新方法。Agilent B1500A 具有极佳的低电流、低电压和集成电容测量能力,因此可满足广泛的半导体器件表征需求(IC-CAP 支持 B1500A)。它还是一款用于非易失存储单元表征和高速器件表征(包括先进 NBTI 和 RTS 噪声(RTN)测量)的出色解决方案。
Agilent B1500A主要特性与技术指标 一般特性
?基于 PC 的仪器,具有 Windows ® XP Professional 操作系统
?针对电流-电压(IV)、电容-电压(CV)、脉冲生成、快速 IV和时域测量的综合解决方案。
?用于电源监测单元(SMU)和其他模块类型(MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU)的 10 个模块插槽
?通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
测量能力
?支持 0.1fA 和 0.5μV 电流-电压(IV)测量
?支持准静态和中频电容-电压(CV)测量
?支持精确的快速 IV 和时域测量,适用于各种应用,例如脉冲 IV、NBTI 和 RTS 噪声(RTN)测量。
?支持用于大功率和存储器测试的高电压脉冲生成(高达 ±40 V)功能。
B1500A 目前具有 7 种模块。请参见本页底部的模块选型表。
应用主题
现已提供有关太阳能电池表征的新应用指南和示例程序。请访问 “用于太阳能电池测试的精密 SMU 产品”页面。
模块信息
?B1500A 支持 3 类 SMU 和 ASU,以执行超精密测量。有关 SMU 的更多信息,请参见本页的模块选型指南。
?B1525A(HV-SPGU:高电压――半导体脉冲发生器单元)模块可提高闪存测试的吞吐量。 B1525A 演示网页提供在线演示视频。
?B1530A(WGFMU:波形发生器和快速测量单元)模块可帮助您执行以前无法进行的关键脉冲测量。更多信息,请访问 B1530A 产品页面。
相关链接
?B1500A 提供各种脉冲解决方案。最新的安捷伦选型指南可帮助您选择最适合您应用的解决方案。更多信息,请访问 安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。 安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。
?EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 不但可以帮助您提高测量效率,而且还可提供易于使用的测试环境。更多信息,请访问 EasyEXPERT 页面。 EasyEXPERT 页面。
?安捷伦低泄漏开关矩阵系列能够灵活地生成自动化测量解决方案,而不会影响测量性能。更多信息,请访问 开关矩阵系列页面。 开关矩阵系列页面。
特性和优势
?优异的 IV 测量性能:0.1 fA / 0.5 μV 测量分辨率
- 测量特性包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV(使用 SMU)、直接控制和针对 HV-SPGU 的任意线性波形生成(ALWG)GUI。
?可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量
?基于定位器的可选 CV-IV 开关解决方案提供 0.5 μV 的电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的电流测量分辨率能力
?使用内置半自动晶圆探头驱动程序可轻松自动完成测试;在快速测试模式下,用户无需编程即可排列测试顺序
?可选的高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU)具有 10 ns 的可编程脉冲宽度和 +/- 40 V(80 V 峰峰值)输出
?可选的波形发生器/快速测量单元(WGFMU)提供 ALWG 和快速电流或电压测量能力
?10 ns 脉冲 IV 解决方案,用于表征高 k 栅极电介质和 SOI(绝缘硅)晶体管
?典型测试模式可提供 4155/4156 界面的外观、风格和术语,同时通过充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加强用户交互
模块选型指南
模块 所需插槽数 主要技术指标
B1510A HPSMU 2 高达 200 V、1 A,10 fA 电流分辨率
B1511A MPSMU 1 高达 100 V、100 mA,10 fA 电流分辨率
B1517A HRSMU 1 高达 100 V、100 mA,1 fA 电流分辨率
E5288A ASU 无 高达 100 V、100 mA,100 aA 当前分辨率
B1520A MFCMU 1 1 kHz 至 5 MHz,高达 100 V 直流偏置,具有 SMU
B1525A HV-SPGU 1 最小 12.5 ns 脉冲宽度,10 ns 跳变时间、高达 40 V 和 3 级脉冲
B1530A WGFMU 1 最小 100 ns 脉冲宽度、10 V 峰峰值输出、5 ns 电流或大于测量采样速率
2.Keysight B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪是唯能够对 sub-pA 电平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件进行表征的综合解决方案。这些功能能够对新的器件(例如 IGBT)和材料(例如 GaN 和 SiC)进行测量。B1505A 支持各种模块:高电压 SMU(HVSMU)、强电流 SMU(HCSMU)、*电流(UHC)模块、超高电压(UHV)模块和高电压中等电流(HVMC)模块。B1505A 还支持:高功率 SMU(1 A/200 V)、中等功率 SMU(100 mA/100 V)、中等电流 SMU(1 A/30V 脉冲,100 mA/30V 直流)和多频电容测量单元(1 kHz – 5 MHz)。B1505A 的 10 插槽模块化主机支持您对其进行配置,以满足您的测量需求。
它还可以在高电压偏置(高达 3000 V)时执行全自动电容测量,例如 Ciss、Coss 和 Crss,也可以轻松地测试高频开关转换器的另一个重要参数——栅极电荷。还支持在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 温度范围内进行自动热表征。
B1505A 软件环境以 Microsoft® Windows® 7 操作系统为基础,包括曲线追踪仪,支持用户检测器件特征和探测器件故障。如同使用曲线追踪仪一样,B1505A 提供旋钮控制可变扫描功能,可对参数(例如击穿电压)进行实时测量。B1505A 还提供“示波器查看功能”,可直观地帮助操作人员优化应用于器件的电压和电流。测量设置信息和数据可自动存储到 B1505A 的内置硬盘,并复制到 USB 闪存和其他便携存储器件。将器件测量结果汇总之后,测量数据可轻松复制到工程报告中。
强大的测试夹具解决方案对于确保操作人员安全(由于生成的高电压和强电流)和支持各种功率器件封装类型极为重要。以前的传统曲线追踪仪受功率器件大小的限制,无法对某些功率器件进行测试,而且有时为了测试某一器件必须临时装配适配器。然而不论器件的大小或形状如何,B1505A 的测试夹具可连接各种器件,例如功率 MOSFET、二极管和 IGBT 等。这可以通过大型测试夹具适配器和定制的测试夹具模块来实现。此外,测试夹具的内置互锁机制可确保在测试器件过程中安全地应用高电压和强电流。
是德可提供一个转换套件,使现有的 B1500A 用户将其 B1500A 主机转换为 B1505A 主机。这使当前的 B1500A 用户能够以较低的成本扩展现有仪器的电压和电流测量功能。模块选型指南
测量资源 | 所需模块/扩展器 | 所需插槽数 | 大配置 | 主要技术指标 |
高功率 SMU(HPSMU) | B1510A HPSMU | 2 | 4 | 高达 200 V、1 A,10 fA 电流分辨率 |
中等功率 SMU(MPSMU) | B1511B MPSMU | 1 | 10 | 高达 100 V、100 mA,10 fA 电流分辨率 |
强电流 SMU(HCSMU) | B1512A HCSMU | 2 | 2 | 20 A/20 V(脉冲);1 A/40 V(直流)*1 |
高电压 SMU(HVSMU) | B1513C HVSMU | 2 | 5 | 1500 V/8 mA;3000 V/4 mA(脉冲和直流) |
中等电流 SMU(MCSMU) | B1514A MCSMU | 1 | 6 | 1 A/30 V(脉冲);100 mA/30 V(直流) |
多频电容测量单元(MFCMU) | B1520A MFCMU | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz;0 至 ±25 V,使用 MFCMU 内部直流偏置 0 至 ±3000 V,使用 HVSMU 和高电压偏置 T 型接头 |
高电压中等电流单元(HVMCU) | M1266A HVSMU 电流扩展器、 B1513B HVSMU 和两个 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 4 - 6 | 1 | ±1500 V / 2.5 A(脉冲),±2200 V/ 1.1 A(脉冲) |
*电流单元(UHCU) | N1265A *电流扩展器/夹具 和两个 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 2 - 4 | 1 | 1500 A/ 60 V(脉冲),22.5 kW 峰值功率、 ±500 A / 60 V(脉冲),7.5 kW 峰值功率 |
超高电压单元(UHVU) | N1268A 超高电压扩展器 和两个 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 组合 | 2 - 3 | 1 | 10 kV/10 mA(直流),10 kV/ 20 mA(脉冲) |
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美国是德Keysight B1506A功率器件分析仪半导体图示仪/曲线追踪仪是完整的功率电路设计解决方案,支持电路设计人员根据应用选择适合的功率器件,以便充分发挥功率电子产品的价值。B1506A 可以在不同工作条件下评测所有的功率器件参数,包括:IV 参数(击穿电压和导通电阻)、在高压偏置下的三端电容、栅极电荷和功率损耗。B1506A 用于电路设计的功率器件分析仪/曲线追踪仪提供所有曲线追踪仪功能以及更出色的特性。
是德Keysight B1505A功率器件分析仪图示仪/曲线追踪仪是一款适合功率器件测试的综合解决方案,具有 sub-pA 至 10 kV/1500 A 的宽测量范围,并可提供精密的 μù 导通测量功能。此外,其 10 μs 快速脉冲功能能够执行完整的功率器件表征,并对新功率器件(例如 IGBT )和宽带隙材料(例如,碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)进行测试。该解决方案通过易用的软件环境还可显著提高输入检测和故障分析功能。