XRF和EDX半定量测出的元素含量差异非常大

应助达人

第一，I元素没有测试出来的原因是因为通常SEM-EDX只加15kV的电压，I Kα的特征能量高达28.5keV，15kV的激发电压是不足以激发I Ka的，只能激发I的L线系，而I L线系在Ca附近，如果你的样品中有比较高的Ca，很容易导致I元素鉴定不出来。因为I元素在工业上用途不多，所以常规的软件通常会把I的识别放在很后面。

第二，通常来说，SEM-EDS测试的面积范围在100μm以内，甚至只有10μm不到。在mm尺度上均匀分布的元素，在μm尺度上分布式不均匀的。你可以把你的样品使用SEM-EDS多测试几个区域看看，就会发现这种不均匀性。所以别说和EDXRF比较了，就是SEM-EDS自己，含量差别也挺大的。另外高真空腔中，C污染是个比较头疼的问题，所以SEM-EDS中的元素含量，一般看看就好，没有多大参考价值的。