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XRF和EDX半定量测出的元素含量差异非常大

  • 热爱生活的桃子
    2022/09/06
  • 私聊

X射线荧光光谱仪(XRF)

  • 想对比能量色散型XRF半定量测试结果和SEM-EDX中的能谱定量结果,其中某几个元素含量是已知的,最终发现二者测出的差异相当大,甚至,EDX都没测出来含量在上千个ppm的碘元素, 这两个都是能谱,只不过激发光源不一样,测试结果为什么会差这么多?
    请老师指点一下,可能是哪些原因造成的?
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  • 砂锅粥

    第1楼2022/09/06

    应助达人

    EDX的话基本上0.5%以上能测出来,0.1%的估计没戏。都是半定量的结果,有明显差异比较正常,我认为1%以上的,只要相差不超一个数量级,我认为是比较正常的,楼主不能对两者的半定量结果抱太大希望。

    影响结果的因素有很多,样品颗粒大小,导电性等都会对结果产生影响。

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  • xiangyu316

    第2楼2022/09/27

    主要是分析功率和分析面积影响,SEM-EDX分析的是点,会导致低含量元素强度太低分析不出来,同时可能分析到夹杂点或不均匀点,EDXRF分析的是面,同样功率显然强度高太多,低含量自然更容易检测出来。

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  • 水清鱼读月

    第3楼2022/10/07

    应助达人

    第一,I元素没有测试出来的原因是因为通常SEM-EDX只加15kV的电压,I Kα的特征能量高达28.5keV,15kV的激发电压是不足以激发I Ka的,只能激发I的L线系,而I L线系在Ca附近,如果你的样品中有比较高的Ca,很容易导致I元素鉴定不出来。因为I元素在工业上用途不多,所以常规的软件通常会把I的识别放在很后面。

    第二,通常来说,SEM-EDS测试的面积范围在100μm以内,甚至只有10μm不到。在mm尺度上均匀分布的元素,在μm尺度上分布式不均匀的。你可以把你的样品使用SEM-EDS多测试几个区域看看,就会发现这种不均匀性。所以别说和EDXRF比较了,就是SEM-EDS自己,含量差别也挺大的。另外高真空腔中,C污染是个比较头疼的问题,所以SEM-EDS中的元素含量,一般看看就好,没有多大参考价值的。

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