实验室建设
zengyiwen
第1楼2007/07/26
我们现在也十分需要啊
青林
第2楼2010/11/28
超净间要达到千级、万级的标准需要对给风、过虑、排风的环节进行仔细的设计。它的日常维护都是非常重要的。维持一个洁净的环境，才能保证半导体材料生长和器件加工的所有过程不会让灰尘影响到实验的最后结果。 在超净间最右边的小间里，我们看到了很多钢瓶。这些钢瓶里面装着为外面的沉积设备和干法刻蚀设备提供的气体，比如氩气、硅烷、氨气、氯气和氧气等。这些气体有些是用来进行材料薄膜的沉积的、有些是进行刻蚀的。
小虾米
第3楼2011/01/02
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