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ICP-OES点火失败及原因分析

JOE HUI

2023/05/16

ICP-OES点火失败及原因分析

一．非 ICP-OES 硬件故障

（一）症状：

1．每次都能点着火，但刚点着，就熄火。★

2．蠕动泵转动就熄火。★★

3．维持几分钟后又熄火。★

4．有丝状放电，但形不成等离子体。★

如果遇到以上点火不成功的现象，首先要从ICP 外围因素入手。

（二）可能的原因及判断：

1．氩气不纯。

如果是在更换完氩气后，才出现以上现象，一般情况下就是氩气的原因，重新换一瓶氩气，或将原来剩余的能正常点火的氩气接上再试。★★★

2．外置冷却水不纯。

如果几个月或更长时间没有更换冷却水，建议更换冷却水，水的纯度越高越好。★

3．稳压电源工作不稳。

可以跳过稳压电源，将ICP 电源接在稳压电源输入端测试。★

4．进样系统安装不到位。

根据要求重新安装炬管，并检查泵管是否卡好以及雾室内是否有积水。★★

5．散热抽风量过大。

根据安装培训时的要求，检查抽风量是否过大。★

6．点火参数设置不正常。

检查点火参数是否在正常的范围之内，包括功率，冷却气，辅助气，雾化气，泵速。如果以上原因都被排除了，接下来就要排查硬件故障。★

二．

ICP 硬件故障（在已经排除了非硬件原因的前提下）

（一）症状及原因判断：

1．开机就有 POWER （电源）报警，引起此故障的原因一般有两个：★

（1）ICP 主板与高压箱连接的数据线松动。★

（2）高压箱故障。★★

A．对于 PROFILE ICP，其 POWER 报警同时又有可能是TEMP（温度）报警，判断的方法是从 113-00113-1 接口板上的 J1 端口的 17 脚测量 TEMP 对地电压是否为高电平(5VDC) ；而对于 PRODIGY ICP，TEMP 报警在连锁信息里就有显示；如果是TEMP 报警， 113-00109-1和 113-00108-1 都有可能出问题，判断具体是哪块板子的问题，首先测量两块板子上的温度开关是否断开，如果都没断开，再测量113-00109-1 板上的数字地对模拟地的电压，正常值应该接近 0VDC ，如果两者之间的悬浮电压过高，就会导致TEMP 报警，可能的原因是113-- 2 -第 2 页共 3 页00109-1 板上的 D3 稳压二极管失效。★★

B．如果开机仅仅是POWER 报警，最大的可能是113-00108-1 电路板的问题；★

2．点火时无丝状放电，也没有POWER 报警，而且听不到点火模块高压脉冲放电的声音。★

（1）点火模块 122-00170-1 失效。★

（2）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★

3．能听到高压脉冲放电的声音，偶尔能点着，但点火很困难，且点着瞬间能听到爆鸣声。★

（1）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★

（2）点火模块与点火线连接处或点火线有破损导致对仪器金属壳放电。★★

4．能听到高压脉冲放电的声音，无丝状放电，也无POWER 报警，仪器显示点火失败。★★★

（1）灯丝驱动板 113-00110-1 无输出。★★

A．灯丝驱动板上的场效应管被击穿，同时与灯丝驱动板相连的380VDC 线路上的 3A 保险也会熔掉。

B．高压调整板 113-00108-1 上的 L3 电感断路。★

C．灯丝控制板 113-00115-1 坏掉。★

D．380VDC 无输出， 113-00109-1 板上的 5A 保险熔掉或 PFC 模块不工作。★

（2）6KV 高压无输出。★★

A．高压子板 113-00107-1 不工作，板上有二极管被击穿。★★

B．高压调整板 113-00108-1 不工作。★

C．380VDC 无输出， 113-00109-1 板上的 15A 保险熔掉或 PFC 模块不工作。★

（3）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★

（4）大功率管灯丝断路。★

5．能听到高压脉冲放电的声音，无丝状放电，也无POWER 报警，但仪器显示已点火成功。★

（1）外置冷却水长久未换，或用10%HCL 清洗后，没有将酸溶液冲洗干净，导致冷却水电阻过小， RF 功率被冷却水分流。★

（2）大功率管失效。★★

摘掉高压负载，用高压棒测量，高压正常；加上高压负载，高压达不到2KV ，而此时软件显示点火已成功。

6．能听到高压脉冲放电的声音，但无丝状放电，且伴有POWER 报警。★★★

（1）灯丝驱动板 113-00110-1 无输出。★

A．灯丝驱动板上的场效应管被击穿，同时与灯丝驱动板相连的380VDC 线路上的 3A 保险也会熔掉。★★

B．高压调整板 113-00108-1 上的 L3 电感断路★。

C．灯丝控制板 113-00115-1 坏掉。★

D．380VDC 无输出， 113-00109-1 板上的 5A 保险熔掉或 PFC 模块不工作。★

（2）无高压输出，高压调整板113-00108-1 故障。★- 3 -第 3 页共 3 页

（3）有高压输出。★★★

A．连接高压子板 113-00107-1 与高压过滤板 113-00104-1 的高压电缆有破损，导致对外壳放电。★

B．高压过滤板 113-00104-1 上的滤波电容击穿，导致高压对地放电。★★

C．振荡箱内高压线圈 (120-00390-2 LG DIA COIL) 绝缘层破损，导致点火时对其并列的耦合线圈放电。★

D．振荡箱内 1000PF 或 200PF 高压电容 205-7210 击穿。★★★

E．振荡箱内绝缘块303-00510 击穿。★★

（4）如果（ 1）、（2）、（3）原因都被排除，这时大功率管失效的可能性就非常大了，即使在静态测量时大功率管各项参数正常。★

7．有丝状放电，但形不成等离子体，且伴有POWER 报警。★★

（1）灯丝电压过低。详细设置，请参考维修手册。★

（2）HV 高压过低。详细设置，请参考维修手册。★

（3）5．（3）内容里提到的配件行将破损或击穿。★★

（4）如果（ 1）、（2）、（3）原因都被排除，这时大功率管失效的可能性就非常大了，即使在静态测量时大功率管正常。★

8．能形成等离子体，但等离子体短小或只有下半部，而且一旦有样品进入，即使是水溶液，也会立马熄火。★

排除氩气的因素外，唯一的原因就是大功率管已经失效。

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Whening

第1楼2023/05/19

总结很到位，感谢分享。

0

JOE HUI

第2楼2023/05/20

应助达人

感谢老师关注
Whening(Insp_42556327) 发表:总结很到位，感谢分享。

0

柔光0908

第3楼2023/05/29

老师，第八条的最大功率是不是就是射频功率？如果射频功率达不到的话是不是内部的振荡器坏了？

0

123

第4楼2023/05/31

应助达人

谢谢分享！

0

次元之暗面

第5楼2023/06/01

这个是复制黏贴利曼的吧

0

JOE HUI

第6楼2023/06/01

应助达人

被老师看到了，分享给大家。
次元之暗面(v3195919) 发表:这个是复制黏贴利曼的吧

0

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