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第2楼2023/09/06
Pirani规是用来测量真空度的工具,其原理是基于热电离的原理。如果Pirani规测量的压力大于2.3mbar,可能有以下原因:
1、真空室或真空管道存在漏气,导致气体分压增大,从而使Pirani规测量值偏高。
2、真空泵的抽气能力不足,无法将真空室内的气体及时抽出,导致气体分压增大,从而使Pirani规测量值偏高。
3、Pirani规自身误差或损坏,导致测量结果不准确。
4、环境温度、湿度等参数影响Pirani规的测量结果。
针对以上原因,可以采取以下措施:
a、检查真空室和真空管道是否漏气,如果有漏气,进行密封处理。
b、检查真空泵的抽气能力是否足够,如果不足,可以更换更大抽气能力的真空泵。
c、校准或更换Pirani规。
d、控制环境温度和湿度,尽量减少其对Pirani规测量结果的影响。