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多晶硅检测怎么赶硅

  • Insm_e541a11f
    2023/08/13
    • 私聊

ICP-MS

  • 做多晶硅检测，按照国标方法使用硝酸：氢氟酸（1：2）溶解多晶硅，在160℃电热板上加热蒸干赶硅，多次加酸后赶硅，硅还是有残留，请问怎么解决能将硅赶完。
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  • 光哥

    第1楼2023/08/14

    应助工程师

    加点儿硫酸，180度就可以

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  • Ins_7511474f

    第2楼2023/08/25

    你好，请问加硫酸为什么会增加硅的驱赶效率。

    光哥(xsh1234567) 发表:加点儿硫酸，180度就可以

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  • 光哥

    第3楼2023/08/27

    应助工程师

    提高液体的温度，之前做的时候，PFA材质的烧杯，180度可以，不会变形。而且加了一点点硫酸，也监测过Si，浓度值很低

    Ins_7511474f(Ins_7511474f) 发表:你好，请问加硫酸为什么会增加硅的驱赶效率。

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  • Insm_e541a11f

    第4楼2023/09/21

    请问加多少体积，浓度的硫酸，我加了1ml180度无法蒸干

    光哥(xsh1234567) 发表: 提高液体的温度，之前做的时候，PFA材质的烧杯，180度可以，不会变形。而且加了一点点硫酸，也监测过Si，浓度值很低

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  • 光哥

    第5楼2023/09/21

    应助工程师

    180度本来就蒸不干的，只需要恨少，100微升左右就足够了。

    最后剩下的是一滴 清亮 的“硫酸”溶液，然后稀释上机

    完全按照国标方法，个人认为是弄不干净硅的

    Insm_e541a11f(Insm_e541a11f) 发表: 请问加多少体积，浓度的硫酸，我加了1ml180度无法蒸干

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