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多晶硅检测怎么赶硅

  • Insm_e541a11f
    2023/08/13
  • 私聊

ICP-MS

  • 做多晶硅检测,按照国标方法使用硝酸:氢氟酸(1:2)溶解多晶硅,在160℃电热板上加热蒸干赶硅,多次加酸后赶硅,硅还是有残留,请问怎么解决能将硅赶完。
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  • 光哥

    第1楼2023/08/14

    应助工程师

    加点儿硫酸,180度就可以

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  • Ins_7511474f

    第2楼2023/08/25

    你好,请问加硫酸为什么会增加硅的驱赶效率。

    光哥(xsh1234567) 发表:加点儿硫酸,180度就可以

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  • 光哥

    第3楼2023/08/27

    应助工程师

    提高液体的温度,之前做的时候,PFA材质的烧杯,180度可以,不会变形。而且加了一点点硫酸,也监测过Si,浓度值很低

    Ins_7511474f(Ins_7511474f) 发表:你好,请问加硫酸为什么会增加硅的驱赶效率。

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  • Insm_e541a11f

    第4楼2023/09/21

    请问加多少体积,浓度的硫酸,我加了1ml180度无法蒸干

    光哥(xsh1234567) 发表: 提高液体的温度,之前做的时候,PFA材质的烧杯,180度可以,不会变形。而且加了一点点硫酸,也监测过Si,浓度值很低

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  • 光哥

    第5楼2023/09/21

    应助工程师

    180度本来就蒸不干的,只需要恨少,100微升左右就足够了。

    最后剩下的是一滴 清亮 的“硫酸”溶液,然后稀释上机

    完全按照国标方法,个人认为是弄不干净硅的

    Insm_e541a11f(Insm_e541a11f) 发表: 请问加多少体积,浓度的硫酸,我加了1ml180度无法蒸干

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