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【求助】大家帮忙看看我的试样能否作EBSD

puretra

2007/05/09

扫描电镜（SEM/EDS）

请大家帮帮忙，谢谢！
我有一薄膜试样，组成相主要为石墨，Fe3C，r-（Fe，Ni），石墨，（也可能存在金刚石）等。想要得到各组成相在膜表面晶体取向或者说是各相在膜表面上呈现其结构中哪个晶面。用什么样的电镜能够观察到？
用SEM的EBSD附件可以观察得到么？
膜中所含的Fe，Ni等元素会令其具有一定的磁性，膜表面可能会有锯齿状台阶，或者是30-100nm的小颗粒，不知道这样的试样是否能做EBSD

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dianall

第1楼2007/05/13

用SEM中的EBSD附件可以得到电子束所在位置的EBSD花样，对该花样进行指标化之后可以确认该点的相，并给出其相对于试样的取向。如果在SEM下，根据形貌能够大概识别各个相，用EBSP可以方便地确认该相（Phase ID)和该相的取向。如果想得到这些相薄膜上的分布，则需要做面扫描（Scan）。能否成功，决定于你的试样的具体情况，如是试样否平滑、结晶状况、晶粒大小等。
Diana
Dianall@126.com
puretra 发表:请大家帮帮忙，谢谢！
我有一薄膜试样，组成相主要为石墨，Fe3C，r-（Fe，Ni），石墨，（也可能存在金刚石）等。想要得到各组成相在膜表面晶体取向或者说是各相在膜表面上呈现其结构中哪个晶面。用什么样的电镜能够观察到？
用SEM的EBSD附件可以观察得到么？
膜中所含的Fe，Ni等元素会令其具有一定的磁性，膜表面可能会有锯齿状台阶，或者是30-100nm的小颗粒，不知道这样的试样是否能做EBSD

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