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【求助】电镜的灯丝负载电流是怎么回事？

yang82401123

2007/05/28

扫描电镜（SEM/EDS）

请教各位大侠！
我用的是日本电子的JSM 6360LV型号，今天W灯丝烧断，在换上新的灯丝，自动调整后 Filament Heating 栏，L.C显示的是63 μa ，但下方左右调的卷标已经有一部分在橙色区域里，而以前卷标在这个位置的时候，L.C显示的都在90 μa左右，（其他参数没变化，加速电压 10KV、 SPOTSIZE 28 、WD 12）
请问各位，什么原因导致L.C会有如此大的差距，属于正常吗？
还有一个问题就是，GUN 里的，SET basi 粗调时，为什么COARSE 值调大，L.C值反向变小？而L.C下的卷标又没有变化呢？
最后请教，L.C是不是灯丝工作时电流是发射电子的，哪些参数的变动会影响L.C值呢，（比如说加速电压变化时，L.C值为什么会变呢？）
谢谢

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yang82401123

第1楼2007/05/28

怎么没人回复啊？
是不是问题太弱智了
但还是希望得到高手不吝赐教
再次谢过先

0

最近不太烦

第2楼2007/06/01

很巧，我的电镜也是这个型号的
我们一般认为60-70uA左右为正常工作值。

0

yang82401123

第3楼2007/06/01

今天问同事说 SET BIAS 就是调电流的，
就是不知道，换灯丝，自动调整GUN后，电流和之前有这么大的差别

0

huangtao0307

第4楼2007/11/04

這個方法是對的﹗其實你之前電流在90應該是不對的﹗70就差不多了
yang82401123 发表:今天问同事说 SET BIAS 就是调电流的，
就是不知道，换灯丝，自动调整GUN后，电流和之前有这么大的差别

0

stonker

第5楼2008/03/11

不是说一定要注意卷标部分不能在橙色区域里？其实我每次都是手动调整的

0

共工

第6楼2008/03/12

看来这位兄弟需要一个厂家基础培训。

yang82401123 发表:请教各位大侠！
我用的是日本电子的JSM 6360LV型号，今天W灯丝烧断，在换上新的灯丝，自动调整后 Filament Heating 栏，L.C显示的是63 μa ，但下方左右调的卷标已经有一部分在橙色区域里，而以前卷标在这个位置的时候，L.C显示的都在90 μa左右，（其他参数没变化，加速电压 10KV、 SPOTSIZE 28 、WD 12）
请问各位，什么原因导致L.C会有如此大的差距，属于正常吗？
还有一个问题就是，GUN 里的，SET basi 粗调时，为什么COARSE 值调大，L.C值反向变小？而L.C下的卷标又没有变化呢？
最后请教，L.C是不是灯丝工作时电流是发射电子的，哪些参数的变动会影响L.C值呢，（比如说加速电压变化时，L.C值为什么会变呢？）
谢谢

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