仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
APP内打开
回版面
评论
收藏
点赞
拍砖
举报
取消
发布
当前位置:
仪器社区
>
特色服务
>
事件聚焦
>
帖子详情
泽攸精密携手松山湖材料实验室成功研制出电子束光刻系统
Ins_29253308
2024/04/12
私聊
事件聚焦
国产电子束光刻机实现自主可控,是实现我国集成电路产业链自主可控的重要一环。近日,松山湖材料实验室精密仪器联合工程中心产业化项目研发再获新突破:项目团队成功研制出
电子束光刻系统
,在全自主电子束光刻机整机的开发与产业化过程中取得阶段性进展,初步实现了电子束光刻机整机的自主可控,标志着
国产电子束光刻机研发与产业化迈出关键一步。
电子束光刻是利用聚焦电子束对某些高分子聚合物(电子束光刻胶)进行曝光并通过显影获得图形的过程,而产生聚焦电子束并让聚焦电子束按照设定的图形扫描的仪器就叫做电子束光刻机。它是推动我们当前新材料、前沿物理研究、半导体、微电子、光子、量子研究领域的重要手段之一。此前,全球电子束光刻机市场高度集中,主要由美日企业垄断,我国尚未掌握该领域核心技术,装备长期依赖进口。
松山湖材料实验室精密仪器研发团队作为首批入驻实验室的团队之一,专注于材料和半导体领域的精密加工、表征和测量设备研发。团队负责人许智已从事相关研究近20年,参与承担多项国家重点研发计划专项工作及国家重大科研装备研制项目,近5年带领产业化团队研发的精密仪器成果转化填补多项国产空白,产值超亿元,产品出口美国、英国、德国、澳大利亚。
为了研制具有自主知识产权的电子束光刻机整机,精密仪器研发团队在松山湖材料实验室完成一期项目研发并成立产业化公司后,带资回到实验室进入“滚动发展”模式:产业化公司东莞泽攸精密仪器有限公司与实验室共同投资2400万元进行第二阶段研发,目标是打造集科研与产业化为一体的电子束装备技术创新基地。通过深入开展电子束与新材料交叉领域的前沿技术研发,实现关键装备和共性技术的自主可控,切实提升我国在电子束加工与制备领域的整体创新能力和产业竞争力。
目前,东莞泽攸精密仪器有限公司已基于自主研制的扫描电镜主机,完成电子束光刻机工程样机研制,并开展功能验证工作。通过对测试样片的曝光生产,可以绘制出高分辨率的复杂图形,朝着行业先进水平稳步前进。该成果标志着泽攸科技在电子束光刻机关键技术和整机方面的自主创新能力获得重大提升。下一步,团队及产业化公司将持续完善电子束光刻机的性能指标,使其达到批量应用及产业化的要求。
[来源:松山湖材料实验室]
相关话题
1
辽宁首批十佳“特色产业园区”,丹东仪器仪表产业园占一席
2
蛋白质组学分析代表企业Seer:Proteograph XT试剂盒结合赛默飞Orbitrap Astral识别超1万种蛋白
3
Teledyne FLIR和法雷奥就汽车安全系统热成像达成协议
4
两项天然气检测国家标准发布,涉及光学法、电化学法
5
科普|蛋白质组学 TopDown:“Proteoform”一词的前世今生
近期热榜
赛默飞实验室产品焕新计划有奖调研!
【七月征文】不一YOUNG实验“猿”
报名开启:ICS2024第十三届光谱网络会议!
推荐收藏!盘点中药材及饮片检测解决方案
热门活动
甄选国优仪器,助推设备更新
采购咨询618活动:1000元奖励等你拿
猜你喜欢
最新推荐
热门推荐
更多推荐
【原创】纺织标签议案达成共识
2011/05/25
【原创】仪器信息网新开“热点调查”栏目,我问我有“礼”
2011/03/01
完成数千万元融资!艾玮得致力器官芯片系列产品的创新研发
分享
2024/04/04
我有钱,我任性?---新年寄语中小型仪器企业
第七届原创
2014/12/24
开年第一笔!布鲁克收购透射电镜制造商Nion
分享
2024/04/16
中广测司法鉴定所所长沈鸿斌荣获“全国公共法律服务工作先进个人”称号
分享
2024/04/04
【资料】离子色谱基本原理(共19讲)
2009/11/04
【原创】金融危机,你的企业受到影响了吗?
2010/01/08
国外品牌仪器价格跌落神坛?原因究竟何在?中国品牌仪器何以应对?
讨论
2024/07/04
安捷伦授予Jennifer Field教授“思想领袖奖” 表彰其在有机微量污染物和PFAS领域的开创性工作
分享
2024/04/22
盛奥华高校行|筑梦“绿水青山”,青春正当时
分享
2024/04/22
谱育:饮用水新国标涉及农药、消毒副产物等检测指标新增,首次纳入LC-MS/MS、GC-MS质谱法
分享
2024/04/22
应对新国标——生活饮用水中SVOCs的测定整体解决方案
分享
2024/04/22
油烟监测 城市餐饮油烟污染监管对策
分享
2024/04/22
合肥正在建噪声自动监测系统 设20个点位
分享
2024/04/22
应对新国标|固相萃取技术助力生活饮用水检测
分享
2024/04/22
实验室检测记录能否使用Excel保存
求助
2024/06/28
仪器点火失败
求助
2024/06/28
求助,非甲烷总烃测定中,除烃空气0.4mg/m3,怎么计算的呢?是按总烃计算公式吗?
求助
2024/06/29
检测报告一定要有判定结果吗?
求助
2024/07/01
求助安捷伦GC7890B,EPC无响应解决办法
求助
2024/07/01
气相FID重现性不好原因
求助
2024/07/01
HJ1332便携非甲实际应用问题
讨论
2024/07/01
衍射斑点标定求助
求助
2024/06/30
某国产半导体封装设备商操纵股价,遭证监会罚款6.61亿元
分享
2024/04/12
原位铅同位素示踪技术揭示东汉金银箔珠来源
分享
2024/04/12
中科院化学所:废旧塑料转化制备汽油,收率达80%!
分享
2024/04/12
便携式食品安全分析仪可以自动对比校验吗
分享
2024/04/12
全面推动工业设备更新 广东将推出20条措施开展超百项行动
分享
2024/04/12
主题:【求助】气相色谱仪上做标样的期间核查
已应助
2024/04/12
高效毛细管电泳法测定硫酸软骨素含量
已应助
2024/04/12
高抗干扰段码液晶显示屏LCD驱动IC/LCD液晶显示驱动芯片-VK2C24
原创
2024/04/12
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器(上海)有限公司(PerkinElmer)
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁
举报帖子
执行举报
点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...