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电镜开机后（前一天断电）stage无法初始化

扫描电镜（SEM/EDS）

  • stage R/Z无电压信号，是什么问题？
相关话题
    +关注 私聊

  • xmanyy

    第1楼2024/07/01

    你观察下开机启动的时候是不有异响，样品台控制电路输入电压可能低于5kv了，输出到不了21kv，样品台马达无法正常启动

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    +关注 私聊

  • UNM

    第2楼2024/07/22

    应助达人

    你看能不能初始化样品台，或者能不能手动强制初始化样品台。
    另外看下会不会是有连接样品台的电线有失落或者断了？

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    +关注 私聊

  • maxwellar

    第3楼2024/07/22

    解决了，是感应器问题，突然就好了

    UNM(v2942222) 发表:你看能不能初始化样品台，或者能不能手动强制初始化样品台。另外看下会不会是有连接样品台的电线有失落或者断了？

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  • UNM

    第4楼2024/07/23

    应助达人

    那应该是传感器问题，可以打开腔体手动初始化，如果卡住可以用手去压下传感器就可以继续。

    maxwellar(maxwellar) 发表:解决了，是感应器问题，突然就好了

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